据介绍,新款元件采用TDK基于铜电极的HAS(高有效堆叠)技术,以无外壳封装的被动元件供货,实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术,采用HAS技术的压电执行器性能更佳,湿度稳定性更好、使用寿命更长。
TDK透露,公司计划于2023年再推出另外三款执行器,以满足更广泛的应用要求。目前,这些执行器仅作为少量原型样品供应,尚未量产,具体包括高度为10 mm、位移量为16 µm的COM10S5;高度为27 mm、位移量为 47 µm的 COM27S3(带引线。
此外,TDK也强调,公司压电执行器应用范围广,适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制,以及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。